GFC 質(zhì)量流量控制器的操作原理

更新時間：2023-05-06

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GFC 低成本鋁制或不銹鋼熱質(zhì)量流量控制器

設(shè)計特點

± 1% FS 精度為標準
剛性金屬結(jié)構(gòu)
可用流量范圍從 0 到 10 sccm 到 0 到 1000 slpm
最大壓力為 1000 psig (70 bars)
泄漏完整性 1 x 10 ^-9 sccs 的氦氣
NIST 溯源認證
內(nèi)置可傾斜 LCD 讀數(shù)（某些型號）
本地或遠程設(shè)定點控制
0-5 Vdc 和 4-20 mA 信號
電路保護
累加器選項

操作原理

計量氣體被分成兩條層流路徑，一條通過主流量管道，另一條通過毛細管傳感器。兩個流道都被設(shè)計成確保層流，因此它們的流速比是恒定的。

傳感器管上的兩個精密感溫繞組被加熱，當流動發(fā)生時，氣體將熱量從上游繞組傳遞到下游繞組。產(chǎn)生的溫差與傳感器繞組的電阻變化成正比。

惠斯通電橋設(shè)計用于監(jiān)測傳感器繞組上與溫度相關(guān)的電阻梯度，該電阻梯度與瞬時流速成線性比例。

生成 0 至 5Vdc 和 4 至 20mA 的輸出信號，指示基于質(zhì)量分子的計量氣體流速。

The combined gas streams flow through a proportionating electromagnetic valve with an appropriately selected orifice. 閉環(huán)控制電路連續(xù)監(jiān)測質(zhì)量流量輸出并將其保持在設(shè)定的流量。

在規(guī)定的限制范圍內(nèi)，流速不受溫度和壓力變化的影響。

GFC 質(zhì)量流量控制器

GFC 型熱質(zhì)量流量控制器設(shè)計用于指示和控制氣體的設(shè)定流量。

GFC 以的低成本將傳統(tǒng)質(zhì)量流量設(shè)備的特性和精度結(jié)合到獨的緊湊型設(shè)計中。這些控制器中的每一個都包含一個先進的“U"形管傳感器以及由用于非腐蝕性氣體的鋁和黃銅或用于腐蝕性應(yīng)用的 316 不銹鋼制成的流道元件。可從變送器外部進行調(diào)零和量程調(diào)整。

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