波蘭prevac基本質(zhì)譜系統(tǒng)032 PRIMS的產(chǎn)品介紹

更新時間：2024-08-27

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簡單且功能齊全的濺射沉積裝置，用于可重復(fù)的薄膜層應(yīng)用。即插即用的緊湊設(shè)計。

工藝室包含3個磁控濺射源端口（用于金屬和無機物），采用濺射向下配置安裝。最多可同時使用兩個源（共沉積）基底臺適用于直徑最大2英寸的樣品，具有加熱和旋轉(zhuǎn)選項。

特征

1.即插即用結(jié)構(gòu)

2.易于使用的移動裝置，可快速測試和濺射涂層

3.處理室配有大型真空門，方便更換靶材或基材

4.配備MS2 100 ISO-K 磁控管源和新型M600DC-PS 電源

5.可承載直徑達 2英寸樣品的基片臺

6.加工室直徑：Ø 355 毫米

7.3 個2 英寸磁控管源端口

8.1 個視口 – 帶百葉窗的觀察窗

9.防止交叉污染的保護屏障

10.基準壓力范圍 10 -7 mbar

11.帶真空計的快速抽氣系統(tǒng)

12.通過質(zhì)量流量控制自動計量氬氣

描述

快速泵送系統(tǒng)（帶有手動節(jié)流閥）與小容量的工藝室相結(jié)合，使您能夠在短時間內(nèi)達到基準壓力。

工藝室配備HV標準的連接法蘭，用于連接現(xiàn)有和未來的設(shè)備，包括：最多 3 個2” 磁控管源，基板操縱器，泵送系統(tǒng)m,防止交叉污染的保護盾，石英天平，視口 - 帶百葉窗的觀察窗，真空計，高溫計。

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