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有源儀表輸入 –行業(yè)標(biāo)準(zhǔn) RJ45 插孔,用于連接大多數(shù)低功率(24 V,最大 1 W)有源儀表頭。可選擇線性或?qū)?shù)格式。非常適合與我們的 APG Active Pirani 測頭一起使用。
離子計操作 –四種操作模式;自動和互鎖使用主動或皮拉尼表壓自動啟動/停止離子計,或根據(jù)主動或皮拉尼表壓阻止其啟動。外部禁止允許通過外部提供的邏輯信號啟動/停止離子計。使用手動模式根據(jù)需要強制打開和關(guān)閉離子計。
串行接口 –通過易于使用的串行接口讀取背壓測量值或控制 NGC3。提供了協(xié)議的完整文檔,使其可以輕松集成到您的應(yīng)用程序中??梢栽谖覀兊木W(wǎng)站上下載軟件,該軟件演示了 NGC3 提供的接口功能
控制器特點:
• 1200 mbar 至3×10-11mbar 連續(xù)測量范圍。
•按順序控制2 個離子真空計、1 個活動真空計和2 個AML 傳統(tǒng)皮拉尼真空計。
•亮綠色LED顯示屏;測量值易于讀取。可分配的自定義儀表標(biāo)簽。
•多種離子真空計模式,包括基于主動或皮拉尼真空計壓力的啟動/停止和聯(lián)鎖。
• 1U 高全寬,方便機架安裝。
•以毫巴、托或帕斯卡為單位顯示壓力,或以安培為單位顯示離子電流。
•密碼保護功能;防止無意中更改重要設(shè)置。
•自動或手動發(fā)射電流設(shè)置;靈敏度可調(diào)范圍為 1 mBar-1 至 140 mBar-1。
•手動和自動電子轟擊脫氣程序。
• 4 個電源繼電器用于過程控制。
•系統(tǒng)烘烤程序可控制溫度、時間和超壓限制。集成 K 熱電偶放大器。
• RS-232C 接口用于數(shù)據(jù)記錄和控制,1.0 伏/十進制記錄器輸出。
•工作電源電壓為 100 V 至 240 V、48 至 65 Hz,無需調(diào)整
規(guī)格:
控制器
壓力顯示 :科學(xué)記數(shù)法(1 或 2 位小數(shù)分辨率)或以 mbar、Torr 或 Pascal 為單位的條形圖顯示。
電源電壓 : 48 至 65Hz 時標(biāo)稱值 100V 至 240V,無需調(diào)整。
電流顯示:以 pA、nA、μA 和 mA 為單位的整數(shù)值。
工作溫度 : 5°C 至 35°C 以獲得定性能。測量并顯示進氣溫度,并在 >40°C 時禁止運行。
功耗 :空轉(zhuǎn)時 <20 瓦,發(fā)射時 <75 瓦。
建議使用 PM-AIG1xG
型電離真空計。
來自許多其他制造商的帶有卷繞燈絲的 Bayard-Alpert 壓力計除了靈敏度之外無需調(diào)整即可適用。
范圍
從 1 x 10-3 到低于 3 x 10-11mBar,采用帶有鎢絲的 UHV 測量頭。下限取決于測量頭、電纜結(jié)構(gòu)、電纜長度和使用條件。上限由燈絲的可接受壽命決定,并且可以通過使用氧化釷或氧化釔涂層銥燈絲來延長。
精度和重復(fù)性
主要由測量頭決定:控制器誤差要小得多。建議以 0.5mA 發(fā)射。
靜電計對數(shù)一致性
范圍 21°C 5°C 至 35°C
1 mA 至 350 pA <1% <1%
<350 pA 至 10 pA <1% <4%
<10 pA 至 2 pA <10% <20%
儀表電源
柵極:發(fā)射時+200 V,脫氣時≤60 mA 時+500 V。燈絲:+50 V 偏壓,≤12 V,≤4.2 A(鎢),≤2.6 A(銥),功率限制為最大 30 W。
皮拉尼壓力計
壓力計類型
PM-PVU2 和 PM-PVB2。
恒壓橋電路可減少高壓下的污染。無需調(diào)整即可更換 AML 皮拉尼測量頭或連接延長線。
有源儀表
自供電或有源儀表,帶 +10 V 滿量程輸出。格式可選擇線性(1、10、100、1000 mBar 或 Torr 滿量程)或?qū)?shù)(1 V/十倍程,1 x 10-6 mBar 時為 0.5 V)。該儀器提供穩(wěn)壓 +24 Vdc 電源,最大功率 1 W,由 50 mA 自復(fù)位保險絲保護,為連接的有源儀表供電。