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關(guān)于日本KOFLO產(chǎn)品PI質(zhì)量流量控制器CST-500的注意事項(xiàng)和使用方法
關(guān)于日本KOFLO產(chǎn)品PI質(zhì)量流量控制器CST-500的注意事項(xiàng)和使用方法
一.注意事項(xiàng)
1.一開始就是
這次,我們非常感謝您購買質(zhì)量流量設(shè)備PI-MFC ST-500。
請(qǐng)您充分閱讀這份使用說明書,并正確使用裝置。
2.使用時(shí)的注意事項(xiàng)
(1)關(guān)于產(chǎn)品主體的確認(rèn)事項(xiàng)
您訂購的產(chǎn)品,每臺(tái)都按照規(guī)格進(jìn)行組裝調(diào)整。
由于殼體背面的銘牌上記載了使用氣體和流量等,所以與訂單的規(guī)格一致。
請(qǐng)確認(rèn)一下。
1型號(hào):ST-500
② GAS:流體名
③ FLOW RATE:流量?校正溫度 SCCM = mL/min , SLM = L/min
※SCCM是Standard Cubic Centimeter per Minute的縮寫,通常指0℃狀態(tài)
有
但是,定義為20℃狀態(tài)的行業(yè)也有很多,所以訂購時(shí)指的定的流量單位、溫度狀態(tài)
我們正在進(jìn)行狀態(tài)的調(diào)整和描述。如果校準(zhǔn)溫度不同,實(shí)際流量(質(zhì)量流量)就大不相同。
所以,請(qǐng)務(wù)必確認(rèn)。
4 CALIB.:校準(zhǔn)氣體
4系列編號(hào)。:序列號(hào).
(3)關(guān)于產(chǎn)品的搬運(yùn)
為了防止搬運(yùn)中事故造成的損傷和受傷,產(chǎn)品盡量以本公司出貨的狀態(tài)設(shè)置。
請(qǐng)搬到地方。
因?yàn)槭蔷軆x器,所以如果是落下等沖擊引起的故障,可能會(huì)被排除在保修范圍之外。
(4)關(guān)于產(chǎn)品的保管
產(chǎn)品送到手邊后,使用前的保管期長的情況下,意外會(huì)發(fā)生故障
我可以考慮。
如果事先預(yù)計(jì)長期保管,請(qǐng)注意以下項(xiàng)目。
·產(chǎn)品請(qǐng)盡量以本公司出貨的包裝狀態(tài)保管。
·保管場(chǎng)所請(qǐng)選定滿足以下條件的地方。
1沒有雨或水的地方
2沒有振動(dòng)或沖擊的地方
3保管場(chǎng)所的溫度、濕度為常溫、常濕(25℃、65%RH左右)的場(chǎng)所
4灰塵少的地方
5沒有腐蝕性氣體的地方
6沒有強(qiáng)大電場(chǎng)或磁場(chǎng)的地方
※保管使用過一次的產(chǎn)品時(shí),為了不在流量計(jì)主體中殘留測(cè)定氣體而清潔的Air或
請(qǐng)務(wù)必的用的N2等清除(在反應(yīng)性高的氣體的情況下,一定要使用惰性氣體而不是Air
請(qǐng))。另外,請(qǐng)用蓋子等保護(hù)測(cè)量氣體的出入口側(cè)(接頭)不混入垃圾等。
二.使用方法
(1)熱身(暖機(jī))
在氣體壓力不施加到主體的入口側(cè)的狀態(tài)下(入口側(cè)和出口側(cè)的壓差完的全的為零的狀態(tài))下的電源
投入其中。
當(dāng)動(dòng)作模式為“全開"或“控制"時(shí),“全閉"或“控制"且“設(shè)定流量"
為零“后,請(qǐng)進(jìn)行15分鐘以上(推薦30分鐘)的熱身(暖機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn))。
如果不進(jìn)行熱身使用,流量精度會(huì)變差。
※發(fā)貨時(shí)設(shè)定為全閉模式。
(2)零點(diǎn)調(diào)整
本器具有“零敏捷功能"。
按下主體側(cè)面的零開關(guān),可以校正零點(diǎn)的偏移。
(3)氣體的導(dǎo)入
確認(rèn)使用的氣體種類、供給源壓力是否有問題后,請(qǐng)供給氣體。
※請(qǐng)確認(rèn)供給氣體的壓力是否在使用壓力范圍內(nèi)(3頁3。仕様 參照)。
※使用反應(yīng)性高的氣體時(shí),在管內(nèi)用N2等惰性氣體進(jìn)行凈化后
請(qǐng)導(dǎo)入煤氣。
(4)氣體的填充
使用Air以外的氣體時(shí),將其吹掃至本機(jī)內(nèi)部或管道內(nèi)充滿氣體
我需要。
※請(qǐng)對(duì)動(dòng)作模式進(jìn)行“全開"等處理。
(5)制御
通過網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行每個(gè)設(shè)置,輸入設(shè)定值后開始?xì)怏w控制。