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日本KOFLOPI型號 ST-500 系列質量流量控制器的介紹

更新時間：2024-04-03      瀏覽次數(shù)：199

日本KOFLOPI型號 ST-500 系列質量流量控制器的介紹

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■目標流體：氣體　
■最大流量：氣體 100SCCM~30SLM
■精度：±1%SP (10~100%FS)
　　　　±0.1%FS (2~10%FS)

  • PI…壓力不敏感
    可針對壓力波動進行穩(wěn)定的流量控制。

  • 帶隔膜式閥門的金屬密封MFC ，
    通過EP處理和氧化膜處理，
    可兼容腐蝕性流體。

  • 兼容DeviceNet通信

  • 與 W 密封配件兼容

  • SP精度可實現(xiàn)高精度測量，
    1秒內響應全流量控制范圍

  • 帶有專用應用程序的多范圍功能


現(xiàn)有型質量流量控制器在供給側

通過對壓力變動過敏反應，瞬間變大

由于流量紊亂等，當控制變得不穩(wěn)定時

有這樣的課題。

ST-500具有解決該問題PI功能

（PI…壓力不敏感（壓力不靈敏）

是新配備的質量流量控制器。


在流量傳感器前段搭載有壓力傳感器，

將由此捕捉到壓力變動與變動前的壓力進行比較

并實時地對閥開度進行校正

由此，能夠對壓力變動進行穩(wěn)定流量控制

是有可能的。

需要半導體制造裝置等穩(wěn)定性和準確性

適用于氣體供給工藝。

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