產(chǎn)品分類(lèi)

products category

photonic-lattice

查看全部產(chǎn)品 >>

相關(guān)文章

光學(xué)模擬是怎樣的呢？
2023-08-30
偏光高速數(shù)字干涉儀的特征
2023-04-07
關(guān)于特殊圖像傳感器技術(shù)
2023-04-07
紅外線高速相機(jī)/紅外線測(cè)量?jī)x的詳情資料介紹
2023-04-07
soilandrock日本 RI水分密度計(jì)WARP-mini的適用范圍介紹
2024-05-19

產(chǎn)品中心/ products

您的位置：首頁(yè) - 產(chǎn)品中心 - - photonic-lattice - ME-210/ME-210-T日本photonic-lattice膜厚分布測(cè)量檢測(cè)儀

日本photonic-lattice膜厚分布測(cè)量檢測(cè)儀

日本photonic-lattice膜厚分布測(cè)量檢測(cè)儀ME-210/ME-210-T
這是一款高速映射橢圓儀，可以測(cè)量 φ8″ 晶圓的整個(gè)表面（最大?300 mm 是可選的），可以高速和高密度測(cè)量 1 nm 或更小的膜厚度變化。它
支持各種膜厚分布測(cè)量。

產(chǎn)品型號(hào)：ME-210/ME-210-T
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商
更新時(shí)間：2023-04-07
訪問(wèn) 量：711

立即咨詢(xún)

聯(lián)系電話：

產(chǎn)品詳情

日本photonic-lattice膜厚分布測(cè)量檢測(cè)儀ME-210/ME-210-T

這是一款高速映射橢圓儀，可以測(cè)量 φ8″ 晶圓的整個(gè)表面（最大?300 mm 是可選的），可以高速和高密度測(cè)量 1 nm 或更小的膜厚度變化。它
支持各種膜厚分布測(cè)量。

規(guī)格
	測(cè)量
重復(fù)性	膜厚：0.1nm 折射率：0.001 *SiO2膜的一點(diǎn)（膜厚：約100nm）重復(fù)測(cè)量100次時(shí)的標(biāo)準(zhǔn)偏差值。
測(cè)量速度	最大測(cè)量速度 900 點(diǎn)/分鐘以上（寬模式，測(cè)量 100 平方毫米面積時(shí)） 5,000 點(diǎn)/分鐘或以上（高清晰模式，測(cè)量 1 平方毫米面積時(shí)）
光源	半導(dǎo)體激光器（振蕩波長(zhǎng)636nm）
測(cè)量點(diǎn)	廣域模式：0.5 平方毫米高清模式：5.5 微米平方
入射角	70度
尺寸（寬 x 深 x 高）	270×337×最大631mm
兼容透明基材	兼容 ME-210-T 不兼容 ME-210
	住房
舞臺(tái)尺寸	支持最大 8 英寸晶圓（最大 ?300 mm 可選）
尺寸（寬 x 深 x 高）	ME-210-T 650×650×1744mm ME-210 650×650×1740mm
重量	約200公斤
界面	GigE（相機(jī)信號(hào)）
	其他的
界面	GigE（相機(jī)信號(hào)）
電源	AC100-240V
軟件	ME-視圖
配件	臺(tái)式電腦、顯示器、使用說(shuō)明書(shū)、標(biāo)準(zhǔn)樣品

在線咨詢(xún)

留言框

產(chǎn)品：
您的單位：
您的姓名：
聯(lián)系電話：
常用郵箱：
省份：
詳細(xì)地址：
補(bǔ)充說(shuō)明：
驗(yàn)證碼：

請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果（填寫(xiě)阿拉伯?dāng)?shù)字），如：三加四=7

上一篇：PI-300日本photonic-lattice圖像記錄儀高速相機(jī)
下一篇：SE-101日本photonic-lattice膜厚分布測(cè)量檢測(cè)儀

返回列表

日本photonic-lattice膜厚分布測(cè)量檢測(cè)儀

留言框

產(chǎn)品：

您的單位：

您的姓名：

聯(lián)系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細(xì)地址：

補(bǔ)充說(shuō)明：

驗(yàn)證碼：