日本photonic-lattice膜厚分布測量檢測儀

日本photonic-lattice膜厚分布測量檢測儀SE-101
這是一款高速映射橢圓儀，可以測量 φ8″ 晶圓的整個表面（最大?300 mm 是可選的），可以高速和高密度測量 1 nm 或更小的膜厚度變化。它
支持各種膜厚分布測量。

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日本photonic-lattice膜厚分布測量檢測儀SE-101

這是一款高速映射橢圓儀，可以測量 φ8″ 晶圓的整個表面（最大?300 mm 是可選的），可以高速和高密度測量 1 nm 或更小的膜厚度變化。它
支持各種膜厚分布測量。

規(guī)格
	測量
重復(fù)性	膜厚：0.1nm 折射率：0.001 *SiO2膜的一點(diǎn)（膜厚：約100nm）重復(fù)測量100次時的標(biāo)準(zhǔn)偏差值。
測量速度	最大測量速度 900 點(diǎn)/分鐘以上（寬模式，測量 100 平方毫米面積時） 5,000 點(diǎn)/分鐘或以上（高清晰模式，測量 1 平方毫米面積時）
光源	半導(dǎo)體激光器（振蕩波長636nm）
測量點(diǎn)	廣域模式：0.5 平方毫米高清模式：5.5 微米平方
入射角	70度
尺寸（寬 x 深 x 高）	270×337×最大631mm
兼容透明基材	兼容 ME-210-T 不兼容 ME-210
	住房
舞臺尺寸	支持最大 8 英寸晶圓（最大 ?300 mm 可選）
尺寸（寬 x 深 x 高）	ME-210-T 650×650×1744mm ME-210 650×650×1740mm
重量	約200公斤
界面	GigE（相機(jī)信號）
	其他的
界面	GigE（相機(jī)信號）
電源	AC100-240V
軟件	ME-視圖
配件	臺式電腦、顯示器、使用說明書、標(biāo)準(zhǔn)樣品

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