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美國(guó) entegris 在線氣體過(guò)濾器MAX HT適用于高溫、超純氣體應(yīng)用的卓的越顆粒過(guò)濾。1.專為高達(dá) 200°C (392°F) 的高溫 TEOS 和高 k 應(yīng)用而設(shè)計(jì) 2.整體設(shè)計(jì)(148 毫米 [5.82 英寸])是類似過(guò)濾器的直接替代品3.緊湊的尺寸適合許多現(xiàn)有的輸送系統(tǒng),并提供設(shè)計(jì)靈活性和多功能性4.特殊烘烤可快速啟動(dòng)氣體輸送5.低壓差提供穩(wěn)定且更好的物料輸送
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美國(guó) entegris 在線氣體過(guò)濾器MAX HT
適用于高溫、超純氣體應(yīng)用的卓的越顆粒過(guò)濾。
1.專為高達(dá) 200°C (392°F) 的高溫 TEOS 和高 k 應(yīng)用而設(shè)計(jì)
2.整體設(shè)計(jì)(148 毫米 [5.82 英寸])是類似過(guò)濾器的直接替代品
3.緊湊的尺寸適合許多現(xiàn)有的輸送系統(tǒng),并提供設(shè)計(jì)靈活性和多功能性
4.特殊烘烤可快速啟動(dòng)氣體輸送
5.低壓差提供穩(wěn)定且更好的物料輸送
Wafergard® MAX HT 在線氣體過(guò)濾器應(yīng)用:CVD 工具使用點(diǎn)過(guò)濾器、熱 N 2應(yīng)用、TEOS 和高 k 等高溫應(yīng)用
美國(guó) entegris 在線氣體過(guò)濾器MAX HT
適用于高溫、超純氣體應(yīng)用的卓的越顆粒過(guò)濾。
1.專為高達(dá) 200°C (392°F) 的高溫 TEOS 和高 k 應(yīng)用而設(shè)計(jì)
2.整體設(shè)計(jì)(148 毫米 [5.82 英寸])是類似過(guò)濾器的直接替代品
3.緊湊的尺寸適合許多現(xiàn)有的輸送系統(tǒng),并提供設(shè)計(jì)靈活性和多功能性
4.特殊烘烤可快速啟動(dòng)氣體輸送
5.低壓差提供穩(wěn)定且更好的物料輸送
Wafergard® MAX HT 在線氣體過(guò)濾器應(yīng)用:CVD 工具使用點(diǎn)過(guò)濾器、熱 N 2應(yīng)用、TEOS 和高 k 等高溫應(yīng)用