日本KOFLOC Kyoto PI質(zhì)量流量控制器 ST-500系列仕樣圖

更新時間：2024-04-03

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日本KOFLOC Kyoto PI質(zhì)量流量控制器 ST-500系列仕樣圖

3.仕様

（1）仕様

產(chǎn)品名稱PI質(zhì)量流量控制器

型式名 ST-500

流量(N2 換算) 100SCCM,300SCCM,500SCCM

1可持續(xù)土地管理、3可持續(xù)土地管理、5可持續(xù)土地管理、10可持續(xù)土地管理30 SLM

閥門操作常閉

最小制御流量 2%F.S.

流量精度 ※１ ≦±1.0%S.P.（10% - 100%）

≤±0.1%F.S.(2%-10%)

再現(xiàn)性 ≦±0.2%F.S.

応答時間 ≦1sec.

必要差圧 50 - 300kPa 200 - 300kPa

最大動作圧 300kPa(G)

耐圧 1MPa(G)

流量精度保証溫度 15 - 40℃

工作溫度·濕度5℃-50℃·0-80%RH(無結(jié)露)

儲存溫度·濕度0℃-60℃·0-80%RH(無結(jié)露)

外部泄漏速率≤1×10-11Pa·m3

/秒(他)

PI功能SV：5-100%時±3psi的壓力變化，

超調(diào)：≦±2%F.S.，穩(wěn)定時間(≦2%S.P.)：≦1秒。

可安裝姿勢沒有指的定的(自由)

接ガス部材質(zhì) SUS316L、 PTFE、 Au、 Co-Ni 合金

密封材料SUS316L，Au

激勵器系統(tǒng)電磁執(zhí)行器

標(biāo)準(zhǔn)継手?面間寸法 1.125 W-Seal 92mm

6.35錄像機(jī)124毫米

駆動電源 ※２ 11-25VDC (5VA max.)

數(shù)字接口DeviceNet™

製品重量約 1 kg

※1：校準(zhǔn)氣體(N2)及本公司基準(zhǔn)設(shè)備測量的精度。

※2：請將本機(jī)連接(接地)到框架接地。

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